上海HMDS塗膠高溫烘箱應用領域：在光刻工藝中，對矽片、晶元等基片的烘烤和表麵進行HMDS的處理。作用：經過HMDS處理的晶元矽片降低了矽片接觸角，進而降低了光刻塗膠時膠在矽片表麵的勻開的難度，，提高了光刻膠和矽片 晶元的粘附性，降低了光刻的用量，提高了塗膠的均勻性。

產品優勢

　上海HMDS塗膠高溫烘箱的必要性：在半導體生產工藝中，光刻是集成電路圖形轉移的一個重要工藝，塗膠質量直接影響到光刻的質量，塗膠工藝也顯得尤為重要。光刻塗膠工藝中絕大多數光刻膠是疏水的，而矽片表麵的羥基和殘留的水分子是親 水的，這造成光刻膠和矽片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時顯影液會侵入光刻膠和矽片、晶元的連接處，容易造成漂條、浮膠等，導致光刻圖形轉移的失敗，同時濕法腐蝕容易發生側向腐蝕。

 　　增黏劑HMDS可以很好地改善這種狀況。將HMDS塗到矽片、晶元表麵後，經烘箱加溫可反應生成以矽氧烷為主體的化合物。它成功地將矽片表麵由親水變為疏水，其疏水基可很好地與光刻膠結合，起著偶聯劑的作用

工作原理

上海HMDS塗膠烘箱的原理： 預處理係統通過對烘箱HMDS預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數可以在矽片、基片表麵均勻塗布一層HMDS，降低了HMDS處理後的矽片接觸角，降低了光刻膠的用量和均勻性，提高光刻膠與矽片的黏附性。
使用方法

上海HMDS塗膠烘箱的一般工作流程：

 　　1.首先設定HMDS烘箱的工作溫度。

 　　2.打開真空泵抽真空開關，待腔內真空度達到某一真空度後

 　　3.開始充入氮氣，充到達到某一低真空度後，

 　　4.再次進行抽真空、充入氮氣的過程，到達設定的充入氮氣次數後，

 　　5.開始保持一段時間，使矽片充分受熱，減少矽片表麵的水分。

 　　6.然後再次開始抽真空，

 　　7.加熱HMDS管道，

 　　8.充入HMDS氣體到達設定時間後，停止充入HMDS藥液，

 　　9.三麵加熱箱體使溫度達到150度左右

 　　10.進入保持階段，使矽片充分與HMDS反應。

 　　11.當達到設定的保持時間後，再次開始抽真空。

 　　12.充入氮氣，完成整個作業過程。

 　　說明：去除矽片表麵的水分，然後HMDS與表麵的OH一反應，在矽片表麵生成矽醚，消除氫鍵作，從而使極性表麵變成非極性表麵。整個反應持續到空間位阻阻止其進一步反應

注： 尾氣排放等：多餘的HMDS蒸汽（尾氣）將由真空泵抽出，排放到廢氣收集管道。 在無廢氣收集管道時需做專門處理。

產品資料

1 機外殼采用冷紮鋼板噴塑處理，內膽為醫用不鏽鋼316L材料製成；加熱器均勻分布在內膽外壁四周，內膽內無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門觀察工作室內物體一目了然。

 　　2 箱門閉合鬆緊能調節，整體成型的矽橡膠門封圈，確保箱內高真空度。

 　　3 微電腦智能控溫儀，具有設定，測定溫度雙數字顯示和PID自整定功能，控溫精確，可靠。

 　　4 智能化觸摸屏控製係統配套日本三菱PLC模塊可供用戶根據不同製程條件改變程序，溫度，真空度及每一程序時間。

 　5 HMDS氣體密閉式自動吸取添加設計，真空箱密封性能佳，確保HMDS氣體無外漏顧慮。整個係統采用優質材料製造，無發塵材料，適用100級光刻間淨化環境。

 　6 HMDS管路加熱功能，使HMDS液體進入箱體的前端管路加熱，使轉為HMDS氣態時更易。

 　　7 低液報警裝置，采用的紅外液體感測器，能及時靈敏給出指令（當HMDS液過低時發出報警及及時切斷工作起動功能）

 　　8 溫度與PLC聯動保護功能（當PLC沒有啟動程序時，加溫功能啟動不了，相反加溫功能啟動時，PLC程序不按正常走時也及時切斷工作功能，發出警報）

 　9整個箱體及HMDS氣體管路采用SUS316醫用不鏽鋼材料，整體使用無縫焊接（避免拚接導致HMDS液體腐蝕外泄對人體的傷害）

　參數規格

　　1 內膽尺寸：650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;

　　2 載物托架：2塊

 　　3 室溫+10℃-250℃ 控溫範圍：溫度分辨率：0.1℃ 溫度波動度：±0.5℃

 　4 真空泵：油泵或無油真空泵。真空度：133pa，

 　5 加熱方式：腔體下部及兩側加溫。加熱器為外置加熱板（防止一側加熱使的HMDS液進入箱體內不能完本轉成氣態）

 　6 可放2寸晶圓片或4寸晶圓片；6寸晶圓片；8寸晶圓片等。

 7開箱溫度可以由user自行設定來降低process時間（正常工藝在50分鍾-120分鍾（按產品所需而定烘烤時間），為正常工作周期不含降溫時間（因降溫時間為 常規降溫）；

 設計要點

安全保護措施：

 　　1、安全可靠的接地保護裝置；工作室超溫保護； 加熱器短路保護。

 　2 、獨立的工作室超溫保護（溫度上限保護）；

 　3、加熱器短路及過載保護；

 　　4、低液報警裝置（當HMDS液過低時發出報警及及時切斷工作起動功能）

 5、溫度與PLC聯動保護功能（當PLC沒有啟動程序時，加溫功能啟動不了，相反

 　加溫功能啟動時，PLC程序不按正常走時也及時切斷工作功能，發出警報）

 　　6、整個箱體使用無縫焊接（避免拚接導致HMDS液體外泄對人體的傷害）

 7、HMDS氣體管路采用一體成型進口SUS316醫用不鏽鋼材料（避免腐蝕外泄）。